T/CEMIA 032-2022 显示面板用氧化层缓冲刻蚀液

本文件规定了显示面板用氧化层缓冲刻蚀液的缩略语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。 本文件适用于由氢氟酸水溶液和氟化铵水溶液组成的显示面板用氧化层缓冲刻蚀液，适用于显示面板制造中硅氧化物和氮化硅层的蚀刻，同样适用于硅氧化物和氮化硅层的清洗过程。 氢氟酸和氟化铵的基本信息见附录A中的A.1。

英文名称：  Buffered oxide etchant for display panels 中标分类：  电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料  ICS分类：  31.030 发布部门：  中国电子材料行业协会 发布日期：  2022-04-20 实施日期：  2022-07-20 提出单位：  中国电子材料行业协会 归口单位：  中国电子材料行业协会 起草单位：  杭州格林达电子材料股份有限公司 起草人：  蒋哲男、邢攸美、高立江、胡涛、陈东良、张之钧、胡阳、刘伟鑫、闫广学、周淑飞、张振洋、梁龙飞、彭澳、徐森彪、李盈盈、洪明卫、季文涛、王小栋、刘永南、施珂、李林佳、周利超、陈海刚、章帅迪、徐一航 页数：  16页 出版社：  中国标准出版社

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