T/CEMIA 030-2022 半导体用正胶显影液

本文件规定了半导体用正胶显影液的分类和标记、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。 本文件适用于半导体用正胶显影液，其主要组分为通过季铵盐化合物电解制得的四甲基氢氧化铵。 四甲基氢氧化铵的基本信息见附录A中的A.1。

英文名称：  Positive photoresist developer for semiconductor manufacture 中标分类：  电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料  ICS分类：  31.030 发布部门：  中国电子材料行业协会 发布日期：  2022-04-20 实施日期：  2022-07-20 提出单位：  中国电子材料行业协会 归口单位：  中国电子材料行业协会 起草单位：  杭州格林达电子材料股份有限公司 起草人：  邢攸美、李潇逸、张之钧、赵健、胡涛、李盈盈、陈东良、顾峻、徐文干、孙炜、刘新雨、王琪、周利超、李林佳、余红刚、倪芸岚、陈海刚、杨小平、章帅迪、刘永南、姚艺融、刘为波、翁雪平、傅华、高小云 页数：  16页 出版社：  中国标准出版社

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