SJ/T 11865-2022 功率器件用Φ150 mm n型碳化硅衬底

本文件规定了功率器件用Φ150mm n 型碳化硅（SiC）衬底的术语、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。适用于经抛光后制备的Φ150mm n 型 SiC 衬底，晶型为 4H。

发布部门：  中华人民共和国工业和信息化部 发布日期：  2022-10-20 实施日期：  2023-01-01

请到 http://www.bzbz.net/search/ 搜索 下载标准下载库的标准