SJ/T 11863-2022 单片超大尺寸掩模板装载盒规范

本文件规定了液晶显示器生产工艺中使用超大尺寸掩模基板装载盒。 本文件适用于液晶显示器生产工艺中使用盛装超大尺寸掩模基板装载盒，本文件适用于掩模基板尺寸范围为大于等于 850 mm×1200 mm，小尺寸参照执行。本文件适用于掩模基板自动装卸处理，尤其对于大尺寸掩模板是必不可少的。

发布部门：  中华人民共和国工业和信息化部 发布日期：  2022-10-20 实施日期：  2023-01-01

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