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YB 1602-1983 硅单晶

2012-08-19   发表:

标准编号:YB 1602-1983,标准状态:现行。 本标准适用于直接(CZ)法和区熔(FZ)法制备的硅单晶锭。主要供制造半导体分立元件、集成电路、电力半导体元件、探测器件和硅外延片衬底等用。

发布部门: 中华人民共和国冶金工业部
发布日期: 1983-08-18
实施日期: 1984-10-01
页数: 8页
出版社: 中国标准出版社
出版日期: 1984-10-01

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