标准编号:YB 1602-1983,标准状态:现行。 本标准适用于直接(CZ)法和区熔(FZ)法制备的硅单晶锭。主要供制造半导体分立元件、集成电路、电力半导体元件、探测器件和硅外延片衬底等用。
发布部门: | 中华人民共和国冶金工业部 |
发布日期: | 1983-08-18 |
实施日期: | 1984-10-01 |
页数: | 8页 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 1984-10-01 |
请到 http://www.bzbz.net/search/ 搜索下载标准下载库的标准
标准编号:YB 1602-1983,标准状态:现行。 本标准适用于直接(CZ)法和区熔(FZ)法制备的硅单晶锭。主要供制造半导体分立元件、集成电路、电力半导体元件、探测器件和硅外延片衬底等用。
发布部门: | 中华人民共和国冶金工业部 |
发布日期: | 1983-08-18 |
实施日期: | 1984-10-01 |
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出版社: | 中国标准出版社 |
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