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YB 1603-1983 硅单晶切割片和研磨片

2012-08-19   发表:

标准编号:YB 1603-1983,标准状态:现行。 本标准适用于制造半导体器件(分立器件和集成电路)的三种等直径硅单晶切割片和双面研磨片。用作其他器件的硅单晶切割片和研磨片,可参照本标准确定其相应的技术参数。

发布部门: 中华人民共和国冶金工业部
发布日期: 1983-08-18
实施日期: 1984-10-01
页数: 8页
出版社: 中国标准出版社
出版日期: 1984-10-01

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