标准编号：GB/T 14015-1992，标准状态：现行。 本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
| 英文名称： | Silicon on sapphire epitaxial wafers |
| 中标分类： | 电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
| ICS分类： | 29.040.30 |
| UDC分类： | 621.382.032.9 |
| 采标情况： | SEMI M3-1983,REF |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1992-01-02 |
| 实施日期： | 1993-08-01 |
| 首发日期： | 1992-12-28 |
| 复审日期： | 2004-10-14 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： | 天津半导体技术研究所 |
| 页数： | 平装16开， 页数：8， 字数：12千字 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 书号： | 155066.1-9656 |
| 出版日期： | 2004-08-10 |
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