标准编号：GB/T 13843-1992，标准状态：现行。 本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。
| 英文名称： | Polished monocrystalline sapphire substrates |
| 中标分类： | 电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
| ICS分类： | 29.040.30 |
| UDC分类： | 621.382.032.9 |
| 采标情况： | SEMI M3-1983,REF |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1992-01-02 |
| 实施日期： | 1993-08-01 |
| 首发日期： | 1992-12-28 |
| 复审日期： | 2004-10-14 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： | 天津半导体技术研究所 |
| 页数： | 平装16开， 页数：10， 字数：16千字 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 书号： | 155066.1-9649 |
| 出版日期： | 2004-08-13 |
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