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GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 国家标准

2012-06-11   发表:

标准编号:GB/T 1557-2006,标准状态:现行。 本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。

本标准适用于室外温电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω·cm中间的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。

本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at·cm-3到硅中间隙氧的最大固熔度。

英文名称: The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
替代情况: 替代GB/T 14143-1993;GB/T 1557-1989
中标分类: 冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类: 冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
采标情况: ASTM F1188-2000 MOD
发布部门: 中华人民共和国质量监督检验检疫总局和国家标准化管理委员会
发布日期: 2006-07-18
实施日期: 2006-11-01
提出单位: 中国有色金属工业协会
归口单位: 全国有色金属标准化技术委员会
主管部门: 中国有色金属工业协会
起草单位: 峨眉半导体材料厂
起草人: 梁红、覃锐兵、王炎
计划单号: 20060512-T-610
页数: 7页
出版社: 中国标准出版社
出版日期: 2006-11-01
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