标准编号:GB/T 8758-2006,标准状态:现行。 本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量,测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm,外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。
| 英文名称: | Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference |
| 替代情况: | 替代GB/T 8758-1988 |
| 中标分类: | 冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法 |
| ICS分类: | 冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析 |
| 发布部门: | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期: | 2006-07-18 |
| 实施日期: | 2006-11-01 |
| 首发日期: | 1988-02-25 |
| 提出单位: | 中国有色金属工业协会 |
| 归口单位: | 中国有色金属工业协会 |
| 主管部门: | 中国有色金属工业协会 |
| 起草单位: | 北京有色金属研究总院 |
| 起草人: | 王彤涵 |
| 计划单号: | 20021942-T-610 |
| 页数: | 平装16开/页数:7/字数:8千字 |
| 出版社: | 中国标准出版社 |
| 书号: | 155066·1-28139 |
| 出版日期: | 2006-11-01 |
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