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GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 国家标准(GB)

2012-06-11   发表:

标准编号:GB/T 8758-2006,标准状态:现行。 本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量,测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm,外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。

英文名称: Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
替代情况: 替代GB/T 8758-1988
中标分类: 冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类: 冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
发布部门: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期: 2006-07-18
实施日期: 2006-11-01
首发日期: 1988-02-25
提出单位: 中国有色金属工业协会
归口单位: 中国有色金属工业协会
主管部门: 中国有色金属工业协会
起草单位: 北京有色金属研究总院
起草人: 王彤涵
计划单号: 20021942-T-610
页数: 平装16开/页数:7/字数:8千字
出版社: 中国标准出版社
书号: 155066·1-28139
出版日期: 2006-11-01

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