标准编号：GB/T 17874-2010，标准状态：现行。 本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
| 英文名称： | Gases for electronic industry-Boron trichloride |
| 替代情况： | 替代GB/T 17874-1999 |
| 中标分类： | 化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： | 化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2011-04-01 |
| 实施日期： | 2011-05-01 |
| 提出单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1) |
| 归口单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1) |
| 主管部门： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1) |
| 起草单位： | 西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院 |
| 起草人： | 孙福楠、方华、庄鸿涛、周鹏云 |
| 页数： | 12页 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2011-05-01 |
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