标准编号:JB/T 2965-1992,标准状态:现行。 本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。 本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。
替代情况: | JB 2965-81 |
中标分类: | 机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备 |
发布部门: | 沈阳真空技术研究所 |
发布日期: | 1992-01-01 |
实施日期: | 1992-01-01 |
归口单位: | 沈阳真空技术研究所 |
批文号: | 机电科标[1992]2135号 |
页数: | 6 页 |
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