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GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 国

2012-08-08   发表:

标准编号:GB/T 13389-1992,标准状态:现行。 本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。本标准适用于掺杂剂浓度1012~1021cm-3(电阻率0.0001~10,000Ω·cm)掺硼硅单晶和1012~5×1020cm-3(电阻率0.0002~4,000Ω·cm)掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算,也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。

英文名称: Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon
替代情况: 被GB/T 3389-2008代替
中标分类: 冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类: 29.040.30
UDC分类: 669.782-172-415;621.317.33(083.5)
采标情况: =ASTM F723
发布部门: 国家技术监督局
发布日期: 1992-02-19
实施日期: 1992-10-01
首发日期: 1992-02-19
复审日期: 2004-10-14
提出单位: 中国有色金属工业总公司
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门: 国家标准化管理委员会
起草单位: 峨嵋半导体材料研究所
起草人: 过惠芬、陈永同、吴道荣
页数: 平装16开, 页数:19, 字数:34000
出版社: 中国标准出版社
出版日期: 1992-10-01
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