标准编号:GB/T 13389-1992,标准状态:现行。 本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。本标准适用于掺杂剂浓度1012~1021cm-3(电阻率0.0001~10,000Ω·cm)掺硼硅单晶和1012~5×1020cm-3(电阻率0.0002~4,000Ω·cm)掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算,也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。
| 英文名称: | Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon |
| 替代情况: | 被GB/T 3389-2008代替 |
| 中标分类: | 冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法 |
| ICS分类: | 29.040.30 |
| UDC分类: | 669.782-172-415;621.317.33(083.5) |
| 采标情况: | =ASTM F723 |
| 发布部门: | 国家技术监督局 |
| 发布日期: | 1992-02-19 |
| 实施日期: | 1992-10-01 |
| 首发日期: | 1992-02-19 |
| 复审日期: | 2004-10-14 |
| 提出单位: | 中国有色金属工业总公司 |
| 归口单位: | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门: | 国家标准化管理委员会 |
| 起草单位: | 峨嵋半导体材料研究所 |
| 起草人: | 过惠芬、陈永同、吴道荣 |
| 页数: | 平装16开, 页数:19, 字数:34000 |
| 出版社: | 中国标准出版社 |
| 出版日期: | 1992-10-01 |
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