标准编号：YS/T 26-1992，标准状态：现行。 本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。
本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓.
| 中标分类： | 冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属 |
| ICS分类： | 电气工程>>29.045半导体材料 |
| 采标情况： | ASTM F928-85 MOD |
| 发布部门： | 中国有色金属工业总公司 |
| 发布日期： | 1992-03-09 |
| 实施日期： | 1993-01-01 |
| 提出单位： | 中国有色金属工业总公司标准计量研究所 |
| 起草单位： | 洛阳单晶硅厂 |
| 起草人： | 王从赞、夏光勤 |
| 页数： | 3页 |
| 出版日期： | 1993-01-01 |
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