标准编号：SJ/T 31460-1994，标准状态：现行。 本标准规定了电子工业元器件生产中电子级水制造用电渗析设备完好要求和检查、评定方法。
本标准适用于电子元器件，集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的电渗析设备。
| 中标分类： | 化工>>化工机械与设备>>G92化工机械 |
| 发布部门： | 中华人民共和国电子工业部 |
| 发布日期： | 1994-04-15 |
| 实施日期： | 1994-06-01 |
| 提出单位： | 电子工业部经济运行与体制改革司 |
| 起草单位： | 国营华东电子管厂 |
| 起草人： | 沈鹏 |
| 页数： | 4页 |
| 出版社： | 中国电子工业出版社 |
| 出版日期： | 1994-06-01 |
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