标准编号:JB/T 12067-2014 ,标准状态:即将实施。JB/T 12067-2014 TDL-GX 硅芯生长炉 机械行业标准(JB)详细内容。 本标准规定了对TDL-GX 硅芯生长炉产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、存储以及定购和供货等。
本标准适用于高频感应加热,采用基座法生长硅基发热载体的设备。
标准状态: | 即将实施 |
发布部门: | 中华人民共和国工业和信息化部 |
发布日期: | 2014-07-09 |
实施日期: | 2014-11-01 |
出版社: | 机械工业出版社 |
出版日期: | 2014-11-01 |
请到 http://www.bzbz.net/search/ 搜索 下载标准下载库的标准