标准编号：SJ/T 11131-1997，标准状态：现行。 本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。
本标准适用于极限压力为3 x 10-3P二一5 x ]0-6P:范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
| 英文名称： | Basic parameter series of evaporation plating equipment |
| 替代情况： | SJ 1098-77 SJ 1099-77 |
| 中标分类： | 医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理 |
| ICS分类： | 电子学>>31.020电子元件综合 |
| 发布部门： | 中华人民共和国电子工业部 |
| 发布日期： | 1997-09-03 |
| 实施日期： | 1998-01-01 |
| 归口单位： | 电子工业部标准化研究所 |
| 起草单位： | 成都南光实业股份有限公司 |
| 起草人： | 陈华先、谭丽、康开丽 |
| 页数： | 4页 |
| 出版社： | 电子工业部标准化研究 |
| 出版日期： | 1998-01-01 |
| 标准前页： |
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