标准编号：GB/T 18867-2002，标准状态：现行。 本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。
| 英文名称： | Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride |
| 中标分类： | 化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： | 化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 采标情况： | NEQ SEMI C3.24:1995 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 |
| 发布日期： | 2002-10-15 |
| 实施日期： | 2003-04-01 |
| 首发日期： | 2002-10-15 |
| 复审日期： | 2004-10-14 |
| 提出单位： | 原国家石油和化学工业局 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： | 中核红华特种气体股份有限公司 |
| 起草人： | 杜伟华、张奎、贺国武、张军、何道善 |
| 页数： | 平装16开， 页数：9， 字数：16千字 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 书号： | 155066.1-19213 |
| 出版日期： | 2003-04-01 |
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