标准编号:SJ 20858-2002,标准状态:现行。 本标准规定了碳化硅单晶材料的电阻率、霍尔迁移率测试方法。本标准适用于温度在20℃~700℃范围内的4H-SiC、6H-SiC等低阻碳化硅体单晶材料的电阻率、霍尔迁移率测量。
英文名称: | Measuring methods for electrical parameters of silicon carbide single crystal material |
中标分类: | 冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料 |
发布日期: | 2002-12-12 |
实施日期: | 2003-05-01 |
起草单位: | 中国电子科技集团公司第四十六所 |
页数: | 9页 |
出版社: | 工业电子出版社 |
出版日期: | 2004-04-19 |
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