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SJ 20858-2002 碳化硅单晶材料电学参数测试方法 电子行业标准(SJ

2012-06-24   发表:

标准编号:SJ 20858-2002,标准状态:现行。 本标准规定了碳化硅单晶材料的电阻率、霍尔迁移率测试方法。本标准适用于温度在20℃~700℃范围内的4H-SiC、6H-SiC等低阻碳化硅体单晶材料的电阻率、霍尔迁移率测量。

英文名称: Measuring methods for electrical parameters of silicon carbide single crystal material
中标分类: 冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
发布日期: 2002-12-12
实施日期: 2003-05-01
起草单位: 中国电子科技集团公司第四十六所
页数: 9页
出版社: 工业电子出版社
出版日期: 2004-04-19
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