标准编号：GB/T 20175-2006，标准状态：现行。 本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。
| 英文名称： | Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials |
| 中标分类： | 仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器 |
| ICS分类： | 化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析 |
| 采标情况： | IDT ISO 14606:2000 |
| 发布部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2006-03-27 |
| 实施日期： | 2006-11-01 |
| 首发日期： | 2006-03-27 |
| 提出单位： | 全国微束分析标准化技术委员会 |
| 归口单位： | 全国微束分析标准化技术委员会 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： | 清华大学电子工程系 |
| 起草人： | 查良镇、陈旭、王光普、黄雁华、黄天斌、刘林、葛欣、桂东 |
| 计划单号： | 20020617-T-469 |
| 页数： | 平装16开 页数：19, 字数：30千字 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2006-11-01 |
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