标准编号:GB/T 11093-2007,标准状态:现行。 本标准规定了液封直拉法砷化镓单晶及切割片的要求、试验方法、检验规则和标志、包装运输贮存等。
| 英文名称: | Liquid encapsulated czochralski-grown gallium arsenide single crystals and as-cut slices |
| 替代情况: | 替代GB/T 11093-1989 |
| 中标分类: | 冶金>>半金属与半导体材料>>H83化合物半导体材料 |
| ICS分类: | 电气工程>>29.045半导体材料 |
| 发布部门: | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期: | 2007-12-18 |
| 实施日期: | 2008-02-01 |
| 首发日期: | 1989-03-31 |
| 提出单位: | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位: | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
| 主管部门: | 国家标准化管理委员会 |
| 起草单位: | 北京有色金属研究总院 |
| 起草人: | 张峰翊、郑安生 |
| 计划单号: | 20031795-T-610 |
| 页数: | 16页 |
| 出版社: | 中国标准出版社 |
| 出版日期: | 2008-02-01 |
本标准是对GB/T11093-1989《液封直拉法砷化镓单晶及切割片》的修订。
本标准与GB/T11093-1989相比,主要有如下变动:
---单晶和切割片的牌号按照GB/T14844《半导体材料牌号表示方法》进行了修订;
---增加了76.2mm(3in)、100mm、125mm 和150mm 规格的产品;
---增加了掺入碳等杂质元素的产品;
---去掉了40mm 规格的产品;
---取消了按位错密度对产品进行分级。
本标准自实施之日起,代替GB/T11093-1989。
本标准由中国有色金属工业协会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。
本标准起草单位:北京有色金属研究总院。
本标准主要起草人:张峰翊、郑安生。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T11093-1989。
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
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