本文件描述了用脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法测定颗粒硅中氢含量的方法。
本文件适用于流化床法颗粒硅中氢含量的测定，其他硅材料参照使用。
注： 本文件测定氢含量的范围取决于所用氢分析仪的量程，最大测定范围为氢量0.000 08 mg～2.5 mg。以质量分数（%）表示的氢分析仪的测定范围因称取样品量的不同而不同。例如，1 g样品最大测定范围的质量分数为0.000 008%～0.25%；0.15 g样品最大测定范围的质量分数为0.000 06%～1.66%。 |
| | 英文名称： | Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method | | 中标分类： | 冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料 | | ICS分类： | 电气工程>>29.045半导体材料 | | 发布部门： | 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 | | 发布日期： | 2021-10-11 | | 实施日期： | 2022-05-01 | | 提出单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) | | 归口单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) | | 起草单位： | 无锡市产品质量监督检验院、上海赛夫特半导体材料有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、无锡市分析测试学会、中国电子技术标准化研究院、无锡市计量测试院等 | | 起草人： | 何莉、杨君、王美娟、蒋威、丁彬斌、鲍军、刘晓霞、鲁文锋、王旭辉、王彬、王赶强、梁洪、楚东旭、邱艳梅、马昀锋、黄国平、王桃霞、薛小强、罗海燕、马冲先、何永强 | | 页数： | 12页 | | 出版社： | 中国标准出版社 | | 出版日期： | 2021-10-01 | |
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