本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法,用于识别表面常规元素。另外,本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%,微分模式调制幅度的峰值为 ?2 eV?,配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法,具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。 |
| 英文名称: | Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis | 替代情况: | 替代GB/T 29732-2013 | 中标分类: | 化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法 | ICS分类: | 化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析 | 采标情况: | ISO 17973:2016 | 发布部门: | 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 | 发布日期: | 2021-12-31 | 实施日期: | 2022-07-01 | 提出单位: | 全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) | 归口单位: | 全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) | 起草单位: | 清华大学、中国石油大学(北京) | 起草人: | 姚文清、杨立平、徐同广、王雅君、段建霞、李展平 | 出版社: | 中国标准出版社 | 出版日期: | 2021-12-01 | |
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