本文件描述了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。本文件适用于测定线度为几十纳米至几百微米、厚度在几十纳米至几百纳米范围内的薄晶体试样厚度。注: 由于透射电子显微镜薄试样的厚度往往不均匀,用会聚束衍射方法测定的是试样被电子束照明区的局域厚度。 |
| 英文名称: | Microbeam analysis—Method of thickness measurement for thin crystals by convergent beam electron diffraction | 替代情况: | 替代GB/T 20724-2006 | 中标分类: | 仪器、仪表>>物质成分分析仪器与环境监测仪器>>N53电化学、热化学、光学式分析仪器 | ICS分类: | 化工技术>>分析化学>>71.040.99有关化学分析方 | 发布部门: | 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 | 发布日期: | 2021-12-31 | 实施日期: | 2022-07-01 | 提出单位: | 全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) | 归口单位: | 全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) | 起草单位: | 北京科技大学、中国航发北京航空材料研究院 | 起草人: | 柳得橹、娄艳芝 | 页数: | 24页 | 出版社: | 中国标准出版社 | 出版日期: | 2021-12-01 | |
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