GB/T 32280-2022 硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法

本标准描述了利用两个探头在硅片表面自动非接触扫描测试硅片的翘曲度和弯曲度的方法。 本标准适用于直径不小于50mm，厚度不小于100μm的洁净、干燥的硅片，包括切割、研磨、腐蚀、抛光、外延、刻蚀或其他表面状态的硅片，也可用于砷化镓、碳化硅、蓝宝石等其他半导体晶片翘曲度和弯曲度的测试。

英文名称：  Test method for warp and bow of silicon wafers—Automated non-contact scanning method 替代情况：  替代GB/T 32280-2015 中标分类：  冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法  ICS分类：  冶金>>77.040金属材料试验 发布部门：  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布日期：  2022-03-09 实施日期：  2022-10-01 提出单位：  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) 归口单位：  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) 起草单位：  有研半导体硅材料股份公司、山东有研半导体材料有限公司、合肥中南光电有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、浙江海纳半导体有限公司、上海合晶硅材料股份有限公司、开化县检验检测研究院、天津中环领先材料技术有限公司等 起草人：  孙燕、蔡丽艳、贺东江、李素青、王可胜、徐新华、张海英、王振国、潘金平、曹雁、楼春兰、张雪囡、皮坤林 页数：  16页 出版社：  中国标准出版社 出版日期：  2022-03-01

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