GB/T 20230-2022 磷化铟单晶

本文件规定了磷化铟单晶的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。 本文件适用于制作光电、微电器件用的磷化铟单晶锭及磷化铟单晶抛光片。

英文名称：  Indium phosphide single crystal 替代情况：  替代GB/T 20230-2006 中标分类：  冶金>>半金属与半导体材料>>H83化合物半导体材料  ICS分类：  电气工程>>29.045半导体材料 发布部门：  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布日期：  2022-03-09 实施日期：  2022-10-01 提出单位：  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) 归口单位：  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) 起草单位：  中国电子科技集团公司第十三研究所、云南鑫耀半导体材料有限公司、广东先导微电子科技有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司 起草人：  孙聂枫、李晓岚、王阳、刘惠生、惠峰、李素青、朱刘、王书杰、邵会民、周铁军、史艳磊、付莉杰、王博、张晓丹、姜剑、王宇 页数：  16页 出版社：  中国标准出版社

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