SJ/T 11854-2022 光伏用直拉单晶硅炉

本文件规定了光伏用直拉单晶炉的术语定义、规格型号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。适用于采用软轴直拉法进行太阳能级 8 英寸和 12 英寸单晶硅生长的单晶炉。

发布部门：  中华人民共和国工业和信息化部 发布日期：  2022-10-20 实施日期：  2023-01-01

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