SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第2部分：板式 PECVD 设备

上一篇: <a href="/bzbk/052023/bzbk134243.html" title="SJ/T 11830-2022 晶体硅光伏电池智能制造 数据采集指南">SJ/T 11830-2022 晶体硅光伏电池智能制造 数据采集指南
下一篇: <a href="/bzbk/052023/bzbk134245.html" title="SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式 PECVD 设备">SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备

2023-05-06 发表:

本文件规定了晶体硅光伏电池用板式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。适用于晶体硅光伏电池用板式 PECVD 设备。
本文件适用于沉积多种薄膜材料，例如，非晶硅（a-Si:H）、微晶硅（μc-Si:H）、二氧化硅（SiO2）、氧化铝（Al2O3）、氮化硅（SiNx）薄膜等本征薄膜以及各种掺杂薄膜材料等，薄膜光伏电池、柔性光伏电池用 PECVD 设备也可参照使用。