标准编号：SJ/T 11503-2015 ，标准状态：即将实施。SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法 电子行业标准(SJ)详细内容。 本标准规定了用表面轮廓仪和原子力显微镜测定碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的方法。
| 标准状态： | 即将实施 |
| 发布部门： | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： | 2015-04-30 |
| 实施日期： | 2015-10-01 |
| 出版社： | 工业和信息化部电子工业标准化研究院组织出版 |
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