标准编号：GB/T 26250-2010，标准状态：现行。 本标准规定了砷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。
| 英文名称： | Gases for electronic industry—Arsine |
| 中标分类： | 化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： | 化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2011-01-14 |
| 实施日期： | 2011-05-01 |
| 提出单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1) |
| 主管部门： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1) |
| 起草单位： | 西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院 |
| 起草人： | 孙福楠、方华、周鹏云、庄鸿涛、李建浩 |
| 页数： | 12页 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2011-05-01 |
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