GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术　术语

本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。 本 标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

英文名称：	Micro-electromechanical system technology—Terms
中标分类：	电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
ICS分类：	电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门：	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期：	2011-01-10
实施日期：	2011-10-01
提出单位：	全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
归口单位：	全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
主管部门：	全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
起草单位：	中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学
起草人：	丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波
页数：	40页
出版社：	中国标准出版社
出版日期：	2011-10-01

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。 本标准主要起草单位:中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学。 本标准主要起草人:丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波。

目录

前言 Ⅲ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 3.1 综合性术语 1 3.2 科学与工程术语 2 3.3 与材料相关的术语 3 3.4 与设计相关的术语 4 3.5 与加工工艺相关的术语 7 3.6 封装与组装术语 10 3.7 测量技术术语 13 3.8 与器件相关的术语 15 参考文献 22 索引 23 汉语拼音索引 23 英文对应词索引 27

引用标准

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T2900.66—2004 电工术语 半导体器件和集成电路(IEC60050-521:2002,IDT)

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