标准编号:YS/T 819-2012 ,标准状态:即将实施。 本标准规定了电子薄膜用高纯铜溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯铜溅射靶材。
标准状态: | 即将实施 |
发布部门: | 中华人民共和国工业和信息化部 |
发布日期: | 2012-11-07 |
实施日期: | 2013-03-01 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2013-03-01 |
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